發布日期：2014-04-02 17:49:43
R51SL 系列高安全性膜片式減壓器，其結構采用多項安全設計，選用優質原材料制造，輸出壓力穩定，特別適用于強腐
蝕性和劇毒性的氣體介質。
結構特點 Features
h 單級式減壓結構
h 膜片與母體采用硬密封結構，并有二次密封保護
h 上蓋帶有多重密封保護和排放接口
h 母體接口：1/4” 面密封內螺紋
h 安全壓力：1.5 倍zui大使用壓力
h 輸入壓力：500 psi，1500 psi，3000 psi
h 輸出壓力：0-25 psi，0-50 psi，0-100 psi，
0-150 psi，0-250 psi
h 適用溫度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
h 泄漏率：1×10-9 mbar.l/s
h CV 值：0.16
h 重量：1.54 kg (3.42 lbs)
材質 Materials
h 母體：316L (EP)，可選 C22 哈氏合金
h 閥座：PCTFE
h 膜片：C22 哈氏合金
h 閥桿：C22 哈氏合金
適用范圍 Typical Applications
h 半導體
h 太陽能
h 真空鍍覆設備
h 特氣制備
